热式气体质量流量计的发展

热式气体质量流量计诞生在美国的西海岸，刚开始是两个公司，后来分裂成三个独立的公司。其中一个公司生产流体元件，通过石油补丁中发明热式气体流量开关交换机检测油的油井管的运动，但直到1981年，他们实际上也没有演变成实际的流量计。

　　1968年至20世纪70年代初，在奥林和库尔兹做研究使用风速计时，他们更感兴趣的是开发测量产品适用于工业环境。这将需要更坚固耐用的设备比一个风速计。在TSI，他们开发的研究应用在气体动力学，湍流和空气流动的和热膜风速计。这些工具是基于热扩散技术和传感器组成的加热钨丝或铂薄膜沉积在石英棒。这些传感器的直径小了流体力学研究需要的快速响应时间，但在一般工业应用，他们还是太脆弱。于是他们建议TSI开发工业产品，，但TSI是不感兴趣。因此，奥林和库尔兹决定开办自己的公司，于1973年在明尼苏达州纳入Sierra公司。1975年，他们搬到加州的公司，包装业务分为两卡车，驾驶它横跨大陆分水岭在蒙特利设立店铺。

　　1977年杰里·库尔兹决定成为独立的公司，并形成库尔兹仪器。塞拉利昂保持空气采样产品，库尔兹仪器保持热流量计。然而，塞拉利昂流量计在1983年回归市场。

　　在20世纪80年代初，塞拉利昂，库尔兹和流体元件是制造热式气体质量流量计的公司。然而，随着时间的推移，更多的热式气体质量流量计制造商开始诞生。这些包括的埃尔德里奇，福克斯热仪器，贤者测光公司。这些公司主要是塞拉利昂和库尔兹的分支。终，一些较大的流量计企业进入市场，其中包括恩德斯豪斯和ABB、液位和流量开关制造商Magnetrol公司，也进入了热式气体质量流量计市场。

　　在20世纪60年代，美国首先为宇航业所需质量控制开发出热式气体流量计的正式产品，气候应用于半导体工业的设备制造上，得到了很大的发展，随后又扩展到其他的工业领域，近年来热式气体质量流量计技术日趋成熟其应用面不断扩展。世界工业比较发达的国家已有众多制造企业所生产的产品投放市场，20世纪90年代初中期，世界范围的热式气体质量流量计销售额已占流量仪表行业的3%-7%，年销售1.74-4.6万台。